Vakuumske komponente

Toplotna obdelava vključuje predvsem postopke oksidacije, difuzije in žarjenja.Oksidacija je aditivni postopek, pri katerem se silicijeve rezine postavijo v visokotemperaturno peč in se doda kisik, ki reagira z njimi, da na površini rezin nastane silicijev dioksid.Difuzija je namenjena premikanju snovi iz območja visoke koncentracije v območje nizke koncentracije s pomočjo molekularnega toplotnega gibanja, postopek difuzije pa se lahko uporabi za dopiranje specifičnih dopirnih snovi v silicijevem substratu, s čimer se spremeni prevodnost polprevodnikov.